分类:仪器仪表

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高测速测量技术与仪器获中国计量测试学会科技进步一等奖

项目团队针对光刻机工件台超精密定位、基础计量测量和高端仪器应用中对激光干涉仪高动态、高分辨力、跨尺度和可溯源等测量需求,该项目团队所研发的光刻机用双频激光干涉仪系统已经应用到了我国自研光刻机工件台样机研发过程中,该项目团队所研发的光刻机用双频激光干涉仪系统已经应用到了我国自研光刻机工件台样机研发过程中

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